ガリウムヒ素ウェーハ研磨用板状アルミナ粉末 15um 20um
板状アルミナ粉末15um 20umは、ガリウムヒ素ウェーハ研磨に適しています。品質はフジミPWA15とマイクログリットWCA15に近いです。酸化アルミニウム粒子の特性が板状と似ているため、板状酸化アルミニウム粉末とも呼ばれます。高温焼成と特殊な添加剤により、酸化アルミニウムに板状結晶構造を持たせ、酸化アルミニウムのアルファ相への転化を減らして、研磨粉と研磨粉としての硬度と均一性を確保します。板状酸化アルミニウムの特殊な板状構造は、ウェーハ研削中の傷を防ぎ、ウェーハの歩留まりを大幅に向上させます。
ガリウムヒ素ウェーハ研磨用プレートレットアルミナ粉末 15um 20um の特徴:
- Haixu Abrasives が製造する板状アルミナ粉末は、輸入品と比較して、輸入シート状酸化アルミニウム粉末と同等の研磨効果を実現できます。
- 結晶形状は角や角がなく平らで、研削時に研磨粒子がワークピースとの間に平らな滑り効果を生み出し、傷がつきにくくなります。
- 硬度が高く、研削力が強い。板状のアルミナはコランダムα-Al2O3結晶相に似た特性を持ち、ほとんどの材料の研削や研磨に適しています。
- 磁性含有量が低く、清浄度が高く、粒子サイズの一貫性が高い。
- 高い融点、高い機械的強度、高い粉砕効率。
- 粒子サイズは制御可能で、3～50ミクロンの範囲で得られます。
- 粒子が平坦なため、板状アルミナ粉末は分散しやすく、研磨剤や研削液の製造に適しています。
- 耐腐食性、強い化学的安定性、優れた抗酸化性能を備えており、研削液中の液体媒体と反応しません。
- 溶融コランダムによる大きな比表面積、表面活性、接着性。
- 板状アルミナは分散しやすく、粉末がウェーハ表面に凝集しにくく、蓄積を引き起こして研磨の滑らかさに影響を与えます。
ガリウムヒ素ウェーハ研磨用プレートレットアルミナ粉末 15um 20um の化学組成
| アイテム | 標準値 | テストされた値 |
| アルミニウム | ≥99.5% | 99.60% |
| 鉄2O3 | ≤0.04% | 0.032% |
| SiO2 | ≤0.03% | 0.02% |
| ナトリウム | ≤0.2% | 0.15% |
ガリウムヒ素ウェーハ研磨用プレートレットアルミナ粉末15um 20umの物理的特性
| アイテム | 標準値 | テストされた値 |
| 比重(g/cm3) | 3.96-3.98 | 3.98 |
| モース硬度 | ≥9 | 9.0 |
利用可能なサイズ
| 仕様 | D3(えーと) | D50（1個） | D94（えーっと） |
| ＨＸＴＡ２０ | 20.9-24.1 | 13.1-15.3 | 8.2-9.8 |
| ＨＸＴＡ１５ | 14.8-17.2 | 9.4-11 | 5.8-6.8 |
| ＨＸＴＡ１２ | 11.8-13.8 | 7.6-8.8 | 4.5-5.3 |
| ＨＸＴＡ０９ | 8.9-10.5 | 5.9-6.9 | 3.3-3.9 |
応用：
- 半導体シリコンウエハー、水晶材料の研削。
- ガリウムヒ素、インジウムリン、ニオブ酸リチウムなどの化合物半導体材料の研磨。
- サファイア結晶等の研削・研磨
生産：
パッケージ：
10kg/袋、20kg/カートン、1000kg/パレット
よくある質問
A: 酸化アルミニウム粉末の原産国はどこですか？
Q: 板状焼成酸化アルミニウム粉末は中国製です。
A: この板状アルミナ粉末はFUJIMI PWA 15の代わりに使えますか？
Q: FUJIMI PWA 15 と同様の研削効果が得られます。性能は PWA15 または WCA15 の約 80 ～ 90% です。
A: 板状酸化アルミニウムは焼成法または溶融法で製造されますか?
Q: 約 1200 度の焼成工程で製造されます。ふるい分けと水処理の工程は、溶融酸化アルミニウム粉末の製造ラインと同じラインにあります。
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