シリコンウェーハのウェットサンドブラスト用白色溶融酸化アルミニウム 15-20um
シリコン ウェーハをスライスした後、サンドブラスト処理により酸化層を除去し、平坦性を向上させることができます。一般的に使用されるサンドブラスト方法は、ウェット マイクロ サンドブラストです。この用途のブラスト媒体は、白色溶融酸化アルミニウム 15-20um 粉末です。
白色溶融アルミナ粉末は、溶融アルミナから微細加工され、粒子サイズが均一で、粉砕効率が高いです。同時に、WFA 15-20um粉末はオーバーフロー沈殿によって乾燥されるため、凝集や固まりがなく、流動性が良好です。
白色溶融酸化アルミニウム15-20umの化学組成:
| アイテム | 保証額(%) | 標準値(%) |
| Al2O3 | ≥99.2 | 99.55 |
| Fe2O3 | ≤0.04 | 0.02 |
| SiO2 | ≤0.20 | 0.11 |
| Na2O | ≤0.30 | 0.22 |
| マグネシウム | ≤0.05 | 0.04 |
| 高い | ≤0.05 | 0.03 |
| カリウム | ≤0.05 | 0.04 |
物理的特性:
| 比重 | 硬度 | PH値 | 融点 |
| 3.95 g/ cm3 | 9.0モース硬度 | 7-9.5 | 2050℃ |
粒度分布（レーザー分析装置 LS609） :
| サイズ | 白色溶融アルミナ 800 メッシュ | 白色溶融酸化アルミニウム 1000 メッシュ |
| D10 | 10μm以上 | 8μm以上 |
| D50 | 18-21 1 | 14-17 1 |
| D90 | ≤33μm | ≤28μm |
